Η Επίδραση της Χαλκογραφία Μεταλλικών Μικροδομές

Η διαδικασία της εφαρμογής λεπτό μεταλλικό φιλμ είναι ένα σημαντικό μέρος του ημιαγωγού και του μαγνητισμού βιομηχανίες. Οι δύο κύριοι τύποι επεξεργασίες αφορούν την ανάπτυξη των μεταλλικών ταινιών και η χάραξη των μεταλλικών ταινιών. Ανάπτυξης περιλαμβάνει την απόθεση ενός μεταλλικού υλικού με μία μέθοδο , όπως εξάτμιση ή επιμετάλλωση . Χαρακτική είναι η αντίστροφη διαδικασία και περιλαμβάνει την αφαίρεση επιλεκτική υλικό με έκθεση σε ένα συγκεκριμένο χημικό ή με βομβαρδισμό του υλικού με ιονισμένα μόρια αερίου. Χαλκογραφία
Η

Χαλκογραφία είναι η επιλεκτική αφαίρεση υλικού . Υπάρχουν δύο βασικοί τρόποι για να χαράξουν το υλικό . Μια χημική χαράξεως χρησιμοποιείται συχνά για να αφαιρέσει επιλεκτικά ένα ορισμένο υλικό, ενώ αφήνει ανέπαφο άλλες περιοχές του δείγματος. Ένα παράδειγμα είναι η χρήση υδροφθορικού οξέως για την επιλεκτική αφαίρεση του διοξειδίου του πυριτίου. Ένας δεύτερος τρόπος για να χαράξουν είναι να τοποθετήσει το δείγμα μέσα σε ένα θάλαμο κενού , στη συνέχεια, εισαγάγει ένα αέριο, όπως το αργό. Το αργόν στη συνέχεια ιονίζεται από ένα σύνολο ηλεκτροδίων και επιταχύνθηκε κατά το δείγμα. Τα ιόντα βομβαρδίζουν το δείγμα και αφαίρεση υλικού. Από όλα τα μέρη του δείγματος βομβαρδίζονται , δεν είναι ένας εκλεκτικός etch , και όλες τις επιφάνειες που εκτίθενται θα έχει υλικό που αφαιρείται .
Εικόνων Μείωση πάχος μετάλλου
Η

Εκθέτοντας κάθε μεταλλικό δείγματος σε ένα χαράξεως θα μειώσει το πάχος του δείγματος . Αυτό είναι συχνά το επιθυμητό αποτέλεσμα της χαράξεως . Προκειμένου να απομακρυνθεί ένα ορισμένο ποσό του υλικού, το μέταλλο θα πρέπει να εκτεθούν στο χαράξεως για ένα σταθερό χρονικό διάστημα , για παράδειγμα, ένα λεπτό. Το πάχος πρέπει στη συνέχεια να μετρηθεί , προκειμένου να πάρει ένα ποσοστό etch , όπως 10 νανόμετρα ανά δευτερόλεπτο .

Η Κινηματογράφου τραχύτητας
Η

Παρά το γεγονός ότι ο στόχος με ένα χαράξεως είναι να μειωθεί το πάχος μετάλλου , αυτό έρχεται συνήθως σε μια τιμή . Το μεταλλικό τραχύτητα ταινία μπορεί να είναι μια πολύ σημαντική ποσότητα και συνήθως μετράται με μια συσκευή που ονομάζεται μικροσκόπιο ατομικής δύναμης . Σε γενικές γραμμές , όσο περισσότερο το υλικό είναι χαραγμένο , τόσο μεγαλύτερη είναι η τραχύτητα μεταλλική ταινία γίνεται .
Εικόνων μεγέθους κόκκων
Η

Μεταλλική ταινίες να αποτελείται από πολλά εκατομμύρια των μικροσκοπικών κόκκων που βρίσκονται συνήθως σε το εύρος μεγέθους από 5 έως 100 νανόμετρα . Καθώς οι μεταλλικές ταινίες χαραγμένο, το μέσο μέγεθος του μεγέθους των κόκκων μπορεί να μειωθεί , αλλά αυτό εξαρτάται σε μεγάλο βαθμό από τον τύπο της χαράξεως , το χρόνο χαράξεως και etch δύναμη εάν είναι ένα χαράξεως ιόντων.
Εικόνων
Η