Πώς να υπολογίσετε Απευθυγράμμιση σε Ανισότροπη Χαλκογραφία

Αναγνωριστικά κακή ευθυγράμμιση - ή αναντιστοιχία των κυττάρων - σε ανισότροπο χαρακτική απαιτεί μια μέθοδο υπολογισμού που ονομάζεται " αντιστάθμιση του χρόνου . " Αυτό μπορεί να δει όταν την επίλυση ενός αλγορίθμου που χρησιμοποιείται κατά τη διαδικασία προσομοίωσης της διαδικασίας χάραξης του πυριτίου σε μια EDP ​​, ΚΟΗ ή διάλυμα TMAH . Όταν χρησιμοποιείται η μέθοδος Cellular αυτόματα ( CA) για την προσομοίωση χάραξη, το υπόστρωμα αντιπροσωπεύεται από μεμονωμένα κύτταρα που περιέχονται μέσα σε μια κρυσταλλική δομή πλέγματος . Οδηγίες
Η 1

Γράψτε την εξίσωση για να προσδιορίσει τον αριθμό των βημάτων etch . Αυτή εκφράζεται ως N (t) = [ m /e ( α) T ] t . Μια προκαθορισμένη τιμή του 1 χρησιμοποιείται για την Τ. Η τιμή του Μ είναι ένα πολλαπλάσιο του Ε (ων) Τ. Η αξία της E ( s ) είναι [ 0,1 ] . 2

Γράψτε την εξίσωση για τον καθορισμό του ισοδύναμου ποσοστού χαράξτε την επιφάνεια του υλικού . Αυτό εκφράζεται ως εξής: .

E ( s) = M /N ( t ) T = M /( M /E ( s ) T ) T = E ( s )

Αν M δεν είναι πολλαπλάσιο του E ( s ) T , τότε μια αναντιστοιχία θα συμβεί επειδή η χάραξη στο επόμενο κελί δεν ξεκινήσει αμέσως .
εικόνων 3

Κάνετε μια σημείωση για την « k », η οποία χρησιμοποιείται για να προσδιορίσει ένα βήμα χημικής χάραξης . Το επόμενο βήμα χημικής χάραξης της διαδικασίας είναι χαρακτηρισμένα ως k + 1 . Σημειώστε την ισορροπία ώρα για μια βαθμίδα χημικής χάραξης ως Tb ( κ) .
Η 4

Aναγράφεται το εξίσωση που χρησιμοποιείται για να υπολογίσει την αντιστάθμιση του χρόνου. Αυτή η εξίσωση εκφράζεται ως :

Μ ( κ)> E ( s ) ( T + Tb ( k - 1 )

τότε

T ( k ) = T + Tb ( k - 1 )

M ( k +1 ) = M ( k ) - E ( s ) T ( k )

Tb ( k ) = 0

άλλο

T ( k ) = M ( k ) /E ( s )

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k )

Το τελικό αποτέλεσμα των αποτελεσμάτων της μεθόδου αντιστάθμισης του χρόνου σε μια εξίσωση που εκφράζεται ως :

E ( s) = Μ ( κ) /T ( k) = Ε ( -ες) για ένα στάδιο χαράξεως k
εικόνων