1 Τοποθετήστε το δείγμα νανοσωλήνων άνθρακα στον σφιγκτήρα του επιστρωτήρα γύρισμα . Τοποθετήστε μερικές σταγόνες αντισταθεί πάνω στο δείγμα . Ξεκινήστε τη επικάλυψης στροβιλισμού . Μια συνταγή θα πρέπει να χρησιμοποιείται που οδηγεί σε περίπου 1.000 nm του αντισταθεί . Για το αντιστέκονται S1813 , χρησιμοποιήστε μια συνταγή από 4.000 περιστροφές ανά δευτερόλεπτο για 60 δευτερόλεπτα 2
Αφαιρείτε το δείγμα από το spin- επικαλυπτήρα όταν το γύρισμα έχει σταματήσει . Τοποθετείται το δείγμα πάνω σε μία θερμή πλάκα . Ανάλογα με τον τύπο του αντισταθεί χρησιμοποιείται, ο χρόνος και η θερμοκρασία θα ποικίλουν. Συμβουλευτείτε την τεκμηρίωση αντισταθεί για να καθορίσει τη βέλτιστη θερμοκρασία και χρόνο για τη θερμή πλάκα . Για S1813 αντισταθεί , ψήνουν δείγμα για τρία λεπτά στους 100 βαθμούς Κελσίου .
Εικόνων 3
Τοποθετήστε το δείγμα στο aligner μάσκα και να αποκαλύψει μια απλή μάσκα δύο ηλεκτροδίων στο δείγμα . Τα εκτεθειμένα μέρη του δείγματος θα γίνει χημικώς τροποποιημένα , ώστε να μπορεί να αφαιρεθεί χρησιμοποιώντας μια χημική ουσία γνωστή ως προγραμματιστής .
Η
4 Τοποθετήστε το δείγμα στο developer αντισταθεί . Το ποσό του χρόνου του έργου εξαρτάται από το άτομο να αντισταθεί . Συμβουλευτείτε τους αντισταθεί και προγραμματιστής προδιαγραφές για τυπικούς χρόνους . Τα μέρη του δείγματος που έχουν εκτεθεί θα αφαιρεθεί αφήνοντας ένα μοτίβο. Metal μπορεί να κατατεθεί σε αυτό το πρότυπο για τη δημιουργία ηλεκτροδίων . Τοποθετήστε το δείγμα σε ένα εξατμιστή και τον τόπο 1 εκατοστό του χρυσό σύρμα μέσα στην κάψα εξάτμισης . Κατάθεση περίπου 100 nm του χρυσού .
5
Τοποθετήστε το δείγμα σε ακετόνη . Ακετόνη αφαιρεί όλα τα μέρη του αντισταθεί που εκτέθηκαν , αφήνοντας ένα χρυσό πρότυπο . Ενεργοποιήστε το πολύμετρο και επιλέξτε τη λειτουργία αντίστασης . Τοποθετήστε ένα ανιχνευτή πολύμετρο σε κάθε ηλεκτρόδιο . Η οθόνη θα πρέπει να δηλώσουν τώρα την αντίσταση μεταξύ των ηλεκτροδίων . Η μετρούμενη αντίσταση οφείλεται στο ρεύμα που ρέει μεταξύ των ηλεκτροδίων ( μέσω των νανοσωλήνων άνθρακα ) .
Η
εικόνων