DIY RF ζεύξης Plasma

Άτομα αποτελούνται από ένα θετικά φορτισμένο πυρήνα που περιβάλλεται από ένα νέφος αρνητικά φορτισμένα ηλεκτρόνια . Μερικές φορές τα άτομα μπορεί να κερδίσει ή να χάσει ηλεκτρόνια , η οποία οδηγεί σε απόκτηση τους ένα καθαρό θετικό ή αρνητικό φορτίο . Ένα άτομο με ένα καθαρό φορτίο είναι γνωστό ως ένα ιόν . Το πλάσμα είναι ένα σύννεφο των ιόντων , και αυτά μπορεί να έχουν μια σειρά από χρήσεις στη βιομηχανία επεξεργασίας ημιαγωγού . Ένα πλάσμα μπορεί να παραχθεί μέσα σε ένα αργό γεμάτο θάλαμο κενού , χρησιμοποιώντας ένα τροφοδοτικό που παράγει ραδιοσυχνότητες ( RF ) radiation.Things Θα πρέπει
θάλαμο κενού RF με Argon ελεγκτή ροής μάζας
Περιστροφική αντλία
αντλία Turbo
RF τροφοδοσίας
ταιριάζουν δικτύου RF
2 καλώδια RF

Παρουσίαση Περισσότερες οδηγίες
Η

1 Ενεργοποιήστε την περιστροφική αντλία και περιμένετε για την πίεση στο φτάσετε στο 10 ^ -3 millibar . Ενεργοποιήστε την αντλία turbo , και περιμένετε για να ράμπα μέχρι . Περιμένετε μέχρι μία πίεση περίπου 10 ^ -6 millibar επιτευχθεί . 2

Συνδέστε ένα καλώδιο RF μεταξύ της μονάδας προσαρμογής RF και το τροφοδοτικό RF . Συνδέστε ένα άλλο καλώδιο μεταξύ της μονάδας προσαρμογής RF , και την υποδοχή ηλεκτροδίου θάλαμο κενού RF .
Εικόνων 3

Μερικώς κοντά η βαλβίδα στην αντλία turbo . Ενεργοποιήστε το Argon ελεγκτή ροής μάζας , και να ορίσετε έναν πίεση 15 millibar . Ενεργοποιήστε την παροχή ρεύματος και RF μονάδα προσαρμογής . Ορίστε ένα πάουερ φόργουορντ των 50 Watts . Η μονάδα προσαρμογής ακούγεται , καθώς προσπαθεί να ελαχιστοποιήσει την ανακλώμενη ισχύ RF . Όταν η ανακλώμενη ισχύς είναι λιγότερο από το 1 τοις εκατό του πάουερ φόργουορντ , να αυξήσει την ισχύ τροφοδοσίας που είναι περίπου 150 Watt. Το πλάσμα εντός του θαλάμου θα πρέπει να ανάψει και να είναι ορατό αν ο θάλαμος άποψη - λιμάνι. Σιγά-σιγά μειώνουν την ισχύ τροφοδοσίας που είναι πίσω στο 50 Watts . Το ζευγάρι RF πλάσμα δημιουργείται .
Η
εικόνων