Πώς να αφαιρέσει Plasma Etch Πολυμερές

Όταν ένας χημικός ή ηλεκτρολόγο θέλει να τροποποιήσει τη χημικές και φυσικές ιδιότητες της επιφάνειας ενός ολοκληρωμένου κυκλώματος πλακιδίων , είναι γνωστό ως επεξεργασίας πλάσματος . Μία μορφή αυτής της επεξεργασίας ονομάζεται πλάσμα χαρακτική , η οποία χρησιμοποιεί μια εκκένωσης αίγλης (γνωστή ως πλάσμα) από ένα συγκεκριμένο αέριο. Η απαλλαγή απελευθερώνεται ως παλμούς σε ένα ρεύμα με μεγάλη ταχύτητα απ 'ευθείας σε ένα κύκλωμα δείγματος . Η πηγή του πλάσματος , που είναι γνωστή ως είδη etch , μπορεί να πάρει ένα από τα δύο χαρακτηριστικά - χρεώνονται , τα οποία έχουν ταξινομηθεί ως ιόντα , ή ουδέτερη , η οποία αποτελείται από άτομα και των ριζών . Καθώς αρχίζει η επεξεργασία χαράξεως , η απόρριψη αναπαράγεται επί του κυκλώματος θα δημιουργήσει πτητικό υπόλειμμα χαράξεως , ως αποτέλεσμα της χημικής αντίδρασης μεταξύ του χαραγμένο υλικό και τα είδη χαράξεως δημιουργείται από το πλάσμα. Οι φυσικές και χημικές ιδιότητες του κυκλώματος τελικά αλλάζουν ως τα άτομα από το ρεύμα πλάσματος αποδίδουν ή διαπερνούν την επιφάνεια . Ανάλογα με το αέριο που χρησιμοποιείται για τη ροή του πλάσματος , πολυμερές πλάσμα χαράζει μπορεί να σχηματιστεί ως κατάλοιπο μετά τις process.Things Θα πρέπει
Ολοκληρωμένα κυκλώματα γκοφρέτα
Plasma etch πολυμερούς αφαίρεσης ( PRX - 127 )
Βαρέως τύπου προστατευτικά γάντια
χειρουργική μάσκα
προστατευτικά γυαλιά ή γυαλιά
απογύμνωσης δεξαμενές
απιονισμένο ( DI ) δεξαμενή νερού έκπλυσης
Spin στεγνωτήριο ή spin - ξέβγαλμα στεγνωτήρα
Η Εμφάνιση Περισσότερα οδηγίες
Η 1

Plasma πολυμερούς etch είναι πιθανό να σχηματιστεί μετά τη χρήση επεξεργασίας με πλάσμα χαράζει φθοριούχου αέρια όπως hydrotrifluoride άνθρακα και οκταφθοροπροπανίου . Αυτά τα αέρια δημιουργούν ακόρεστες ενώσεις στο πλάσμα τα οποία στη συνέχεια μεταφέρεται στα ολοκληρωμένων κυκλωμάτων γκοφρέτες . Αυτά πρέπει να αρθούν προκειμένου για περαιτέρω επεξεργασία πλάσματος για να συνεχίσετε. 2
Πάρτε εξαιρετική προσοχή γύρω από τις επικίνδυνες χημικές ουσίες .

Plasma etch αφαίρεσης πολυμερούς , που είναι γνωστή ως PRX - 127 , είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από τα στοιχεία του αιθέρα , σουλφοξείδιο και υδροξείδιο , και είναι εξαιρετικά επικίνδυνο να αναπνεύσει ή αφής . Συνιστάται ότι, πριν επιχειρήσετε να χρησιμοποιήσετε αυτό το προϊόν , γάντια , γυαλιά και μάσκα πρέπει να φοριέται . Μια διαδικασία βύθισης υγρής πάγκο είναι ένας από τους ασφαλέστερους τρόπους για να χειριστεί αυτή την ένωση , και απαιτεί πολύ λίγη φυσική αλληλεπίδραση .
Εικόνων 3

Γεμίστε δύο απογύμνωση δεξαμενές που έχουν σχεδιαστεί ειδικά για την υγρή πάγκο διαδικασία με το διάλυμα PRX- 127 και να φέρει σε μια θερμοκρασία από 70 έως 90 βαθμούς Κελσίου. Τοποθετήστε τις πληγείσες γκοφρέτες κύκλωμα προσεκτικά σε μία από τις δεξαμενές με προστατευτικά γάντια . Οι γκοφρέτες θα πρέπει να παραμείνουν στο διάλυμα για τουλάχιστον πέντε λεπτά, αλλά όχι περισσότερο από 20 λεπτά για το βέλτιστο αποτέλεσμα . Ένα μηχανικό ή sonic- με βάση τη μέθοδο ανάδευσης συνιστάται κατά το πρώτο μπάνιο .
Η

4 Μεταφέρετε τα wafers από την πρώτη δεξαμενή απογύμνωση στη δεύτερη φορά ο κύκλος μπάνιο είναι πλήρης , και να απολαύσετε τις γκοφρέτες και πάλι για πέντε έως 20 λεπτά χωρίς πρόσθετη ανάδευση. Αυτό το δεύτερο λουτρό θα αφαιρέσει τα υπάρχοντα στρώματα του πολυμερούς κάτω από το υπόλειμμα επί της επιφανείας του μπισκότου .
Η 5 Απιονισμένο νερό είναι εντελώς καθαρό νερό , χωρίς άλλα μέταλλα.

Αφαιρέστε τις γκοφρέτες από το διάλυμα PRX- 127 και μεταφορά τους σε τρίτη δεξαμενή γεμάτη με SVC- 300 ξέβγαλμα , μια λύση που χρησιμοποιείται κυρίως για την αφαίρεση χρωμάτων . Είναι αρκετά ασφαλές για χρήση , δεδομένου ότι είναι μη τοξικό και μη εύφλεκτο και δεν θα βλάψει τις γκοφρέτες . Οι γκοφρέτες θα πρέπει να μείνετε σε αυτό το διάλυμα για δύο έως τρία λεπτά . Μεταφέρετε τις γκοφρέτες σε μια τελική λύση - απιονισμένο νερό - μέσα σε μια δεξαμενή έκπλυσης για έξι έως οκτώ κύκλους και στη συνέχεια χρησιμοποιήστε ένα πιστολάκι για γύρισμα ή spin- ξέβγαλμα πιστολάκι για να αφαιρέσετε όλα τα ίχνη του διαλύματος . Οι γκοφρέτες πρέπει να είναι εντελώς απαλλαγμένο από πολυμερή , και είναι πλέον ασφαλές να χρησιμοποιηθεί ξανά για περαιτέρω επεξεργασία πλάσματος χαραγμένο .
Η
εικόνων